ULVAC愛(ài)發(fā)科 精品 便攜式 高速光譜 橢偏儀 

ULVAC愛(ài)發(fā)科 精品 便攜式 高速光譜 橢偏儀 

輕便緊湊的便攜式

UNECS系列是一款光譜橢偏儀，可高速、高精度測(cè)量薄膜的厚度和折射率。測(cè)量方法，實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量和緊湊化。我們提供廣泛的產(chǎn)品陣容，以適應(yīng)不同的應(yīng)用，包括便攜式類型、自動(dòng)平臺(tái)類型和與真空環(huán)境兼容的內(nèi)置類型。

UNECS-Portable 是一款便攜式型，重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊，測(cè)量單元重量?jī)H為 2.2 kg，方便攜帶。包含一個(gè)用于小樣品的簡(jiǎn)單固定載物臺(tái)，并且可以從載物臺(tái)上拆下以測(cè)量大樣品。

用途

透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等）的膜厚、折射率、消光系數(shù)的測(cè)量

特征

高速測(cè)量：

采用快照方式，實(shí)現(xiàn)了最高速度20ms的高速測(cè)量。

兼容可見光譜：

波長(zhǎng)范圍可選擇標(biāo)準(zhǔn)型（530nm~750nm）和可見光譜型（380nm~760nm）。

緊湊的傳感器單元：

光發(fā)射/接收傳感器僅由光學(xué)元件組成，沒(méi)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，并且非常輕便和緊湊，并且不需要定期維護(hù)。

豐富的產(chǎn)品陣容：

我們擁有可適應(yīng)各種應(yīng)用的產(chǎn)品陣容，包括便攜式類型、手動(dòng)/自動(dòng)平臺(tái)類型、大型基板類型以及與大氣/真空環(huán)境兼容的內(nèi)置類型。

規(guī)格